即時監測全球光刻系統的運行狀態與工藝參數。
| 組件名稱 | 當前狀態 | 運行時數 | 維護預測 |
|---|---|---|---|
| 錫液滴產生器 (Droplet Generator) | NORMAL | 1,240 hrs | In 260 hrs |
| 真空室壓強 (Vacuum Chamber) | STABLE | 8,760 hrs | In 1,200 hrs |
| 反射鏡污染監控 (Mirror Contamination) | CLEANING REQ | 450 hrs | Immediate |
| 主動式隔震系統 (Vibration Isolation) | ACTIVE | 12,000 hrs | In 5,000 hrs |
模擬展示在不同劑量 (Dose) 設定下的圖案關鍵尺寸穩定性。